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MODEL |
XP-703D |
´ë»ó°¡½º |
¹ÝµµÃ¼Àç·á°¡½º(Arsine, Phosphine, Diborane µî) |
°ËÁö¿ø¸® |
¿¼±Çü ¹ÝµµÃ¼½Ä |
äÁý¹æ½Ä |
ÀÚµ¿ ÈíÀÔ½Ä |
°ËÁö°¡´É´©Ãâ·® (afm.cc/sec) |
Arsine Phosphine Diborane Silane Hydrogen AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 1.0¡¿10-6 1.5¡¿10-6 0.5¡¿10-6 2.5¡¿10-6 5¡¿10-6
|
°ËÁö°¡´É³óµµ(ppm) |
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
ÀÀ´ä½Ã°£ |
10ÃÊ |
»ç¿ë¿Âµµ¹üÀ§ |
0~40¡É |
Àü¿ø |
DC 6V(A4°ÇÀüÁö¡¿4°³) |
ÀüÁö»ç¿ë½Ã°£ |
¾à 3½Ã°£ |
Å©±â¡¤¹«°Ô |
68¡¿155¡¿32mm, ¾à 400g |
Ç¥ÁغμÓÇ° |
·¹ÀÚÄÉÀ̽º, µå·¹ÀÎÈÙŸ, ÈÙÅÍ¿¤·¹¸àÆ®, Á¡°Ë°¡½º, Ç¥ÁØ ºÎÂø¹° |
Option |
À̾îÆù, Ni-Cd Battery Charger |
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